商家巨惠匀胶机

来源:http://www.yangkunpe.com 作者:新闻中心 人气:189 发布时间:2019-10-27
摘要:商家打折匀胶机匀胶机 是在高速旋转的基片上,滴注各种胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的薄厚决定于匀胶机的转变和溶胶的黏度。 概述 该装置

商家打折匀胶机匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各种胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的薄厚决定于匀胶机的转变和溶胶的黏度。概述该装置主要用来晶片涂光刻胶,有全自动、手动和自行三种工作方法。送片盒中的微芯片,自动送到承片台上,用真空吸附,在主轴电机的带动下旋转,转速100-9900转/分(±10转/分),起动加快度可调。每道程序的持续时间,转速、加速度、烘烤温度、烘烤时间、预烘时间等工艺参数均可经过编制程序序调节制。匀胶机有一个或八个滴胶系统,可涂差异类别的光刻胶。滴胶的秘籍有晶片静止或旋转滴胶。随着晶片尺寸的增大,现身了多点滴胶或胶口移动式滴胶。胶膜厚度常常在500-1000nm,同意气风发晶片和片与片间的固有误差小于±5nm。滴胶泵有波纹管式和薄膜式两种,并有流量计进行恒量控制。对涂过胶的微电路有内外刮边作用,去掉微集成电路正面与反面面多余的光刻胶。烘烤工位,有隧道式远红外加热,微波急速加热以至电阻加热的热板炉等。涂胶后的微电路要按自然的升温速率进行烘干。烘烤进度在密封的炉子中开展,通过抽真空消弭挥发出去的有毒物质。前烘甘休后,将微芯片送入收片盒内。主轴转速的稳定和重复性是决定胶膜厚度均匀性和后生可畏致性的要害,起动加快度的高低是决定是不是能将差别粘稠度的光刻胶甩开并使胶均匀的主宰因素。购进才具从其原理来讲,能够见见选购匀胶机必要注意的多少个细节旋转速度转折的速度和调整精度直接关乎到旋涂层的厚度调节和膜层均匀性。假如标示的转会和电机的莫过于转速标称误差比相当大,对于须求精密涂覆的科学研讨人士来讲是力不能及赢得确切的实行数据的。国产的有些匀胶机只好提供转账范围,并不能够确切标定实时的倒车。材质的抉择对于本征半导体化学工业业生行业的采用来讲,材料的精选尤其关键,超越贰分一匀胶机采取的是不锈钢大概普通塑料质感,因为这种材质的资金超级低,不锈钢的对于各个化学工业胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易发生变形。就算这种变形引起地仙泡之处失去水平的话,将会促成旋涂时,时高时低的颠荡状态。自然不恐怕获取好的旋涂效果。比方美利坚联邦合众国等型号都以接收自然聚甲基丙烯只怕聚四氟双环戊二烯材料。这三种材质具有青灰环境珍爱、节约财富、重量轻、强度大、抗冲击品质好、稳定耐用、花纹自然、光华度好等优点。旋转涂覆技巧旋转涂覆技艺所选拔的设备是匀胶机。匀胶机有很各种名称,塞尔维亚语叫Spin Coater或然Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来讲,他们原理都以均等的,即在高速旋转的基片上,滴注各个胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视分裂胶液和基片间的粘滞周到而分裂,也和旋转速度及时间关于。从其规律来讲,匀胶机有以下两日性状。旋转速度倒车的进度和调控精度间接涉及到旋涂层的厚度调控和膜层均匀性。尽管标示的转账和电机的实际转速引用误差异常的大,对于供给精密涂覆的调研人士来讲是不可能取得精确的试验数据的。真空吸附系统旋涡泵平常采纳无消防泵,即常常说的干泵,因为其余的油污都可能杜绝真空中交通管理道,即便真空吸附力收缩,会促成基片吸附不住而发出"飞片"的图景,还只怕会让滴的胶液不慎步入真空中交通管理道连串形成完全杜绝。有的匀胶机通过联动机制,当真空吸附力远远不足时不会初步旋转。那样可使得防止滴的胶液不慎进入真空中交通管理道类别。本集团主营 不锈钢采水器,罐底焊缝真空检测盒,读数仪,八级空气微型生物采集样板器,继电器综合测验仪,双波长扫描仪,涂层测厚仪,土壤打碎机,钢化玻璃表面平整度测量检验仪,声音传感器,便携式电测水位计,网口流量计,腐蚀率仪,便携式划痕仪,凝固点测量试验仪,水质检查测量检验仪,在线氨气测量试验仪,涂层测厚仪,涂层测厚仪,土壤破裂机,数字显示式温度计,气体采集样本泵,陶瓷抗冲击试验机,全自动结晶点测量检验仪,药物凝固点测验仪,干簧管测量试验仪,恒热水浴箱,煤油根转,气体采集样板泵,钢化玻璃测验仪,水质量检验查实验仪,PM2.5测量试验仪,可吸入颗粒物检查实验仪,高频热合机,应变调节三轴仪,牛奶体细胞检查实验仪,氟气浓度检查测量试验仪,土壤水分电导率测量试验仪,场强仪,采撷箱,透色比测定仪,毛细吸水时间测定仪,氧化还原电位计 测振仪,风华正茂氧化碳二氧化碳检查评定仪,CO2解析仪,示波极谱仪,黏泥含量测量试验仪,小车运维电源,自动电位滴定仪,便携式测量温度仪,氧化锆解析仪,干簧管测验仪,精密电导率仪,TOC水质解析仪,微计算机可塑性测定仪,风向站,全自动点样仪,土壤氧化还原电位计,数字测量温度仪,便携式总磷测量试验仪,腐蚀率仪,恒热水浴箱,余氯质量评定仪,自由膨胀率仪,离心杯,水泥饱和蒸汽压装置,颗粒强度测量试验仪,高斯计,自动涂膜机,安全阀研磨工具,气象局,动觉方位仪,暗适应仪,气味收罗器,雨量计,四合一气体深入分析仪,乳化液浓度计,溶解氧仪,温度衡量仪,薄层铺板器,温度记录仪,老化仪,噪音检查实验仪,恒温恒湿箱,分体电阻率测验仪,初粘性和持粘性测量试验仪,红外二氧化碳深入分析仪,氢灯,动觉方位仪,恒温动物手术台,冷却风机,油脂酸价检测仪,粘数测定仪,菌落计数器,气象台,雨量计,凯氏定氮仪,荧光增白剂,公司秉承“客商至上,自告奋勇”的经纪观念,持始终如一“客户##”的条件为广大顾客提供上乘的劳务。迎接惠顾!东京恒奥德仪器仪表有限集团联络人:小文 /友善提示:看不到图片的成品能够来电咨询

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